opta

AMAT 最先进的 CMP 平台

Opta™ 是一个集成了多达 10个 清洗工艺单元,基于多个抛光工艺区的系统架构。Opta™ 的模块化和灵活的架构为整个节点提供了最高的吞吐量。

hpc opta cmp cmp平台 amat 2025-09-25 08:27  4